半導體晶圓槳葉干燥機KJG

半導體晶圓槳葉干燥機KJG

技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型涉及干燥機技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種槳葉干燥機。
背景技術(shù)
[0002] 槳葉干燥機是一種在設備內部設置攪拌槳，使濕物料在槳葉的攪動(dòng)下，與熱載體以及熱表面充分接觸，從而達到干燥目的的低速攪拌干燥器，結構形式一般為臥式，雙軸或四軸。槳葉式干燥器分為熱風(fēng)式和傳導式。
[0003] 現在對干燥的效率和效果的要求越來(lái)越高，傳統直接進(jìn)行熱風(fēng)的干燥方式已經(jīng)不能滿(mǎn)足需求，尤其是在一些特殊物質(zhì)的干燥上，例如半導體晶圓的干燥。實(shí)用新型內容
[0004] 針對現有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種干燥效果好的槳葉干燥機。
[0005] 為實(shí)現上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種槳葉干燥機，包括第一承載臂、第二承載臂、干燥罐、水箱以及接水箱，所述水箱安裝在干燥罐的頂部，所述接水箱安裝在干燥罐的底部，所述水箱的頂部設有注水口，所述注水口上設有密封帽，所述干燥罐的前側設有第一密封蓋，所述第一密封蓋與干燥罐鉸接，所述干燥罐內設有殺菌裝置、轉動(dòng)軸以及噴淋頭，所述殺菌裝置為紫外線(xiàn)光照燈，所述殺菌裝置安裝在干燥罐的內腔頂部以及內腔的兩端側壁上，所述噴淋頭設有多個(gè)，且安裝在干燥罐內腔的頂部，所述噴淋頭通過(guò)導水管與水箱連通，所述轉動(dòng)軸通過(guò)軸承安裝在干燥罐內腔的兩端，所述第一承載臂以及第二承載臂內均設有安裝槽，所述第二承載臂的安裝槽內安裝有驅動(dòng)電機，所述第二承載臂上設有固定架，所述固定架上安裝有第一減速電機，所述驅動(dòng)電機通過(guò)傳動(dòng)齒輪與第一減速電機連接，所述轉動(dòng)軸貫穿干燥罐與第一減速電機連接，所述轉動(dòng)軸上設有安裝架以及槳葉，所述干燥罐上設有加熱器以及排氣閥，所述排氣閥內設有抽風(fēng)機以及過(guò)濾區，所述過(guò)濾區內設有過(guò)濾裝置，所述干燥罐通過(guò)排水管與接水箱連通，所述導水管以及排水管上均設有電磁閥門(mén)，所述水箱上設有排水口，所述排水口上設有密封端蓋。
[0006] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述第一承載臂的安裝槽內安裝有轉動(dòng)電機以及第二減速電機，所述轉動(dòng)電機通過(guò)傳動(dòng)齒輪與第二減速電機連接，所述第二減速電機上設有傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸與干燥罐連接。
[0007] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述水箱、干燥罐以及接水箱采用鋁鎂合金材質(zhì)。
[0008] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述密封端蓋通過(guò)螺紋桿插入排水口內，所述密封端蓋的內側設有密封墊。
[0009] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述水箱以及接水箱的前側設有清理口，所述清理口為矩形結構，所述清理口上設有第二密封蓋，所述第一密封蓋以及第二密封蓋的內側設有密封邊，所述密封邊上設有密封墊。
[0010] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述干燥罐的殼體上設有導熱層，所述加熱器上設有儲水腔，儲水腔上設有導水管與導熱層連通，所述儲水腔上設有注水孔。
[0011] 進(jìn)一步，本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述第一密封蓋以及第二密封蓋的底部設有限位鎖，所述限位鎖包括旋鈕、彈簧、彈簧架、鎖桿以及拉繩，所述鎖桿與彈簧的一端焊接，所述彈簧的另一端與彈簧架焊接，所述彈簧架上設有通孔，所述旋鈕上設有線(xiàn)軸，所述拉繩的一端與線(xiàn)軸纏繞，另一端與穿過(guò)通孔與鎖桿連接，所述干燥罐、水箱以及接水箱上設有鎖孔與鎖桿連接。
[0012] 進(jìn)一步的，本實(shí)用新型改進(jìn)有，所述過(guò)濾裝置包括過(guò)濾網(wǎng)以及碳纖維顆粒。
[0013] 與現有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種槳葉干燥機，具備以下有益效果：
[0014] 本實(shí)用新型通過(guò)噴淋頭，噴淋去離子水在待干燥物品的表面進(jìn)行清洗，同時(shí)紫外線(xiàn)光照燈對待干燥物品進(jìn)行消菌殺毒，在驅動(dòng)電機的驅動(dòng)下，轉動(dòng)軸帶動(dòng)安裝架轉動(dòng)，從而帶動(dòng)待干燥物品轉動(dòng)，提高清洗面以及光照明，從而提高對待干燥物品的清洗以及滅菌效果，當干燥罐內的去離子水積攢到一定容量時(shí)，在槳葉的帶動(dòng)下攪拌去離子水，從而使去離子水與待干燥物品沖刷清洗，進(jìn)一步提高清洗效果，待干燥物品清洗干凈后表面無(wú)殘留物，相對可增進(jìn)較佳的干燥效果。